JPH0739231Y2 - 超高速プローブ基板 - Google Patents
超高速プローブ基板Info
- Publication number
- JPH0739231Y2 JPH0739231Y2 JP1987156262U JP15626287U JPH0739231Y2 JP H0739231 Y2 JPH0739231 Y2 JP H0739231Y2 JP 1987156262 U JP1987156262 U JP 1987156262U JP 15626287 U JP15626287 U JP 15626287U JP H0739231 Y2 JPH0739231 Y2 JP H0739231Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- coaxial cable
- metal
- coated
- flexible coaxial
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987156262U JPH0739231Y2 (ja) | 1987-10-13 | 1987-10-13 | 超高速プローブ基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1987156262U JPH0739231Y2 (ja) | 1987-10-13 | 1987-10-13 | 超高速プローブ基板 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0363932U JPH0363932U (en]) | 1991-06-21 |
JPH0739231Y2 true JPH0739231Y2 (ja) | 1995-09-06 |
Family
ID=31699504
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1987156262U Expired - Lifetime JPH0739231Y2 (ja) | 1987-10-13 | 1987-10-13 | 超高速プローブ基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0739231Y2 (en]) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008045950A (ja) * | 2006-08-11 | 2008-02-28 | Japan Electronic Materials Corp | プローブカード |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004309257A (ja) * | 2003-04-04 | 2004-11-04 | Micronics Japan Co Ltd | プローブカード |
JP2007222229A (ja) * | 2006-02-21 | 2007-09-06 | Kazuo Kajiwara | マッサージ器 |
JP6118710B2 (ja) * | 2013-10-30 | 2017-04-19 | 日本電子材料株式会社 | プローブカード |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60139276U (ja) * | 1984-02-24 | 1985-09-14 | 日本電子材料株式会社 | プロ−ブカ−ド |
-
1987
- 1987-10-13 JP JP1987156262U patent/JPH0739231Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008045950A (ja) * | 2006-08-11 | 2008-02-28 | Japan Electronic Materials Corp | プローブカード |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0363932U (en]) | 1991-06-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6400168B2 (en) | Method for fabricating probe tip portion composed by coaxial cable | |
US4749942A (en) | Wafer probe head | |
JP3502874B2 (ja) | 接続装置およびその製造方法 | |
US6420884B1 (en) | Contact structure formed by photolithography process | |
KR100733945B1 (ko) | 실리콘 핑거 접촉기를 갖는 접촉 구조체 및 그 제조 방법 | |
JP2001506752A (ja) | 高速テスト用プローブカード | |
JP2003207523A (ja) | コンタクタ及びその製造方法並びにコンタクト方法 | |
CN108735678B (zh) | 一种量子裸芯片立体封装结构及其封装方法 | |
KR20000064001A (ko) | 프로브 및 프로브 카드 | |
JPH0739231Y2 (ja) | 超高速プローブ基板 | |
US5563522A (en) | Microwave band probing apparatus | |
TW202309540A (zh) | 用於探測待測裝置的設備及方法 | |
JP4427645B2 (ja) | コンタクトプローブ、そのコンタクトプローブに用いる測定用パッド、及びそのコンタクトプローブの作製方法 | |
JPH10132855A (ja) | Ic検査用プローブカード | |
JPH07335701A (ja) | プロービング装置 | |
EP0220830A2 (en) | Wafer probe head, and method of assembling a wafer probe head | |
JP3502875B2 (ja) | 接続装置およびその製造方法 | |
JPH0580124A (ja) | 半導体素子検査装置 | |
JP3249865B2 (ja) | 半導体集積回路装置の製造方法 | |
JP3204146B2 (ja) | コンタクトプローブおよびその製造方法、並びにコンタクトプローブを備えたプローブ装置 | |
JP2001242195A (ja) | コンタクトストラクチャ | |
JP2568495B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP3346279B2 (ja) | コンタクトプローブおよびそれを備えたプローブ装置並びにコンタクトプローブの製造方法 | |
JP2001330628A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP3446636B2 (ja) | コンタクトプローブ及びプローブ装置 |